箱式爐在擴散爐口徑變大以后，恒溫區(qū)的橫截面溫度差臥式爐比立式大得多，真空箱式爐更能滿足工藝要求；真空箱式爐為達到特殊工藝要求甚至更低，使之滿足薄膜工藝要求；真空箱式爐有利于滿足自動化水平，實現自動裝卸片；真空箱式爐能在工藝過程中硅片在高溫狀態(tài)易變形,水平放置硅片變形小。

真空箱式爐可通氣氛抽真空，材質是石英管，配有石英管和真空密封法蘭系統(tǒng)，可以在流動氣氛和真空狀態(tài)下快速加熱和淬火樣品。精密的控溫儀升降溫，控溫精度。安裝在可移動支架上方便移動。

真空箱式爐具有獨特的爐膛結構設計，有多個獨立可控的溫區(qū)，能一次性完成產品排膠、燒結保溫、可控降溫的全過程。溫控采用數顯移相電壓調節(jié)；傳動系統(tǒng)無離合機構，采用控制步進電機，運行速度平穩(wěn)無噪聲，下降速度無級可調。爐膛保溫材料采用節(jié)能型纖維，升﹑降溫度快,爐溫均勻，燒結產品一致性好。